日本日酸TANAKA半導體設備壓力調(diào)節(jié)器低壓閥  TANAKA日酸 S-TORRⅤ02 特點介紹

S-TORR調(diào)整器在半導體工藝氣體管線中獲得極大信賴的TORR調(diào)整器

是貝一斯開發(fā)的超高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器。

由于排除了接觸氣體部螺紋結(jié)構，并按照標準實施電解研磨，所以可以獲得非常高的水分

可實現(xiàn)置換特性、降低電池。

主體與鋼筋的連接采用焊接，模具和法蘭部的外部密封件采用金屬密封件結(jié)構。

由于具有較高的外部密封性，即使是高純度的氣體，也可以放心使用。

包括直線測試在內(nèi)的全部出貨檢驗。

STV02硅片是本體直徑035、標準面間70.5mm非常小型的壓力調(diào)整器

可設計小型出口管線。也適合安裝人員。

作為腐蝕性氣體用，在接觸氣體主要金屬部使用高耐腐蝕性Ni-Cr-Mo合金.

我們準備了SH系列。

日本日酸TANAKA半導體設備壓力調(diào)節(jié)器低壓閥  TANAKA日酸 S-TORRⅤ02 規(guī)格參數(shù)

使用材質(zhì)

接力部

本體:SUS316L

膜片:Ni-Cr-Mo合金

繼手:SUS316L

其它接觸氣體部:SUS316L、SUS316、氟樹脂/

Ni-Cr-Mo合金、SUS316L、氟樹脂（STV02SH）

非接觸氣體部

蓋:C3604

調(diào)壓手柄:ABS樹脂、C3604