日本e-yamato減壓閥分析儀半導體壓力調節器 ER-1LL 特點介紹

可用于半導體用用途的壓力調節器。

半導體·太陽電池·液晶·LED生產工廠和正在研究的大學推薦給研究機構。

制造時，高維度清潔度高気密性·為了滿足高可靠性，“克林魯一"

實施內組裝、高性能清洗、全數電阻測試。

He檢定采用SEMI FO1方法進行，符合標準。

日本e-yamato減壓閥分析儀半導體壓力調節器 ER-1LL 規格參數

ER-1LL

一次傭壓力（MPa）

1~5

二次側使用壓力（MPa）

0.1~0.99

使用溫度（度C）

-5~40（設計溫度:-10~7攝氏度）1/4

外部響應量（Pam/sec）

螺紋接頭:1.3x10以下焊接頭:1.3X10-以下

相立環境

螺紋接頭:10000級焊接頭:1000級

純水洗凈接主本體

SUS316L

要部材質

材貿記號

分離片

SUS316L

諾科脫明

井材氟樹脂

是P476其他

SUS316.氟樹脂

內置過濾器一概過多20μm

重(kg)1.1

標準流量8/min（nor）

250(P=1MPa.Pe=0.6MPa)

最大流量/分鐘（nor）

300（P，=1MPa.P。=0.6MPa)

可用于半導體用用途的壓力調節器。

半導體·太陽電池·液晶·LED生產工廠和正在研究的大學推薦給研究機構。