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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本YUTAKA高壓大流量氣壓計(jì)控制器L62系列 L62SS/L62SH/L62SS-CO/L62SS-IL62系列是專為高壓、大流量半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)氣體設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，其基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭，具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能。該產(chǎn)品增加了流量，是氣瓶柜的理想選擇。我們的L61系列的針結(jié)構(gòu)類型（面對(duì)面尺寸相同）。可根據(jù)使用氣體選擇閥座材料。
產(chǎn)品型號(hào)：L62SS/L62SH廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2025-05-03訪 問 量：233
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日本YUTAKA高壓大流量氣壓計(jì)控制器L62系列 L62SS/L62SH/L62SS-CO/L62SS-I 特點(diǎn)介紹
L62系列是專為高壓、大流量半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)氣體設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，其基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭，具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能。該產(chǎn)品增加了流量，是氣瓶柜的理想選擇。
我們的L61系列的針結(jié)構(gòu)類型（面對(duì)面尺寸相同）。
可根據(jù)使用氣體選擇閥座材料。
日本YUTAKA高壓大流量氣壓計(jì)控制器L62系列 L62SS/L62SH/L62SS-CO/L62SS-I 規(guī)格參數(shù)
適用氣體 高純氣體
入口壓力 14.8MPa以下（最大19.6MPa）
調(diào)節(jié)壓力 Max.0.8MPa
（范圍規(guī)格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.8MPa）
氣源壓力波動(dòng) 進(jìn)口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化0.001MPa以下
承受壓力 22.2MPa（進(jìn)口壓力）
CV值 0.11
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法）
內(nèi)部容積 32.3cm（不含3個(gè)壓力表及接頭）
大量的 約4.7公斤
■ 類型：L62 SS-CO 是專門針對(duì)一氧化碳（CO）氣體而選擇的材料。
請(qǐng)不要與其他氣體一起使用。
■ 類型：L62 SS-I 是使用氦氣 (He) 或氫氣 (H2) 時(shí)的理想選擇。
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