日本YUTAKA壓力控制設備高壓大流量L61系列 L61SS/L61SS-CO 特點介紹

L61系列是針對高壓、大流量半導體工藝生產氣體而設計的產品。調節閥的平密封結構保證了小行程下的大流量。

功能高壓

焊接規范金屬墊片配件調節閥結構平密封式散裝氣體兼容氣體氣體以外的氣體標準流量100～500NL/分鐘

日本YUTAKA壓力控制設備高壓大流量L61系列 L61SS/L61SS-CO 規格參數

調節壓力 Max.0.8MPa

（范圍規格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.8MPa） 

氣源壓力波動 入口壓力：每0.1MPa，調節壓力變化量0.0006MPa 

承受壓力 22.2MPa（進口側） 

CV值 0.07 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

內部容積 32.3cm（不含3個壓力表及接頭） 

大量的 約4.7公斤 

1/4"面對面密封接頭尺寸

（公母相同）………………………………約126mm

3/8"/1/2"面對面密封接頭尺寸

（公母相同）………………………………約152mm

[備注]

■ 壓力表連接接頭的標準尺寸和形狀為1/4" 外螺紋面密封接頭。

■ 進出口接頭的類型、尺寸和形狀（外螺紋、內螺紋）組合由下式確定。您可以從表中所示的產品編號中進行選擇。

■ 除UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接頭的面對面尺寸可能與標準面對面尺寸不同。