日本musashino高真空2軸旋轉導入機電機驅動 ICF114 特點介紹

采用鋁合金制成，重量輕。

鋁制法蘭型根據 ICF 標準進行鏡面拋光和離子鍍處理。

內軸和外軸可獨立旋轉。

規格與超高真空兼容。

可由電機驅動。

配有夾緊機構。

■ Aluminum alloy composition, lightweight design.

■ Ion plating process is applied to mirror finished aluminum flangeaccording to the ICF standard

■ Inner and outer shafts can rotate independently.

采用鋁合金制成，重量輕。

鋁制法蘭型根據 ICF 標準進行鏡面拋光和離子鍍處理。

內軸和外軸可獨立旋轉。

規格與超高真空兼容。

可由電機驅動。

配有夾緊機構。

日本musashino高真空2軸旋轉導入機電機驅動 ICF114 規格參數

真空連接法蘭密封方式真空密封型泄漏量Le Akage速率允許加熱溫度最大溫度ICF114波紋管方式波紋管type1.3 10-11Pa·m3/sec或更少（1x 10-10Torr·R/sec or less）內軸外軸內軸外軸120°C或更小（AR法蘭）250°C或更小（SUS法蘭）φ5mmφ20mm2.1。