日本HORIBA用于半導體超純水二氧化硅監測器 HORIBA/堀場 SLIA-300 特點介紹

超純水二氧化硅分析多項成果！

新的緊湊和高靈敏度性能。

超純水中的二氧化硅濃度對半導體/FPD 工藝中的產品精度和產量有重大影響。

我們將可靠地滿足1μg/L（1ppb）量級的測量要求。桌面型緊湊機身可在整個測量范圍內進行高靈敏度測量。

憑借其高速響應和自診斷功能等豐富的基本性能，以及新的高靈敏度性能，有力支持半導體/FPD制造的純水工藝。

日本HORIBA用于半導體超純水二氧化硅監測器 HORIBA/堀場 SLIA-300 規格參數

高靈敏度、高重復性

一種新開發的細胞實現了可以處理低濃度的高靈敏度。

高速 5 分鐘測量可保證 0 至 2 µg/L 范圍內的重復性為滿量程的 ±2%。

緊湊的桌面設計

新開發的電池實現了創新的緊湊設計。由于它是桌面型，因此可以適應包括狹小空間在內的各種安裝條件。也可以將其用作移動設備。

試劑消耗減少1/5

通過采用改進的反應池，試劑消耗量減少至常規用量的1/5。可顯著降低試劑運行成本。

最多可測量 6 個點（可選）

測量點可從1點到6點任意設定。支持使用單個設備進行更多多點測量。

自診斷功能，監控異常運行

樣水、試劑注入、校準異常、池溫監測、光源異常等操作異常自診斷。如果出現錯誤，將以文本形式發送一條消息并發出警告燈。