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日本nisshooptical微米深度高度測量裝置

日本nisshooptical微米深度高度測量裝置 AFM-30

這是一種新型深度和高度測量裝置,結合了使用光切割的狹縫圖像觀察和使用聚光圖像的AF(自動對焦)跟蹤。
連續跟蹤自動對焦驅動可實現快速、易于使用的測量,并具有高重復性。
由于該方法在觀察狹縫圖像投影的臺階形狀的同時進行測量,因此可以實時識別測量屏幕上的高度,從而輕松確定需要測量的區域。

  • 產品型號:AFM-30
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-05-07
  • 訪  問  量:361
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詳細介紹

日本nisshooptical微米深度高度測量裝置 AFM-30 特點介紹


這是一種新型深度和高度測量裝置,結合了使用光切割的狹縫圖像觀察和使用聚光圖像的AF(自動對焦)跟蹤。

連續跟蹤自動對焦驅動可實現快速、易于使用的測量,并具有高重復性。

由于該方法在觀察狹縫圖像投影的臺階形狀的同時進行測量,因此可以實時識別測量屏幕上的高度,從而輕松確定需要測量的區域。


這是一種狹縫圖像、點光圖像和電子線參考線的中心在測量點處都重合的測量系統,通過檢查錯位,可以防止測量值錯誤。 

光切割仰角可根據應用場合從標準90°至30°、60°、120°中選擇。 


日本nisshooptical微米深度高度測量裝置 AFM-30 規格參數


■ 觀察方法 

 光學切割法(利用狹縫光學系統測量深度和高度) 

■ 物鏡 

 固定放大倍率:10倍(也可提供5倍和20倍) 

■ Z軸驅動方式 

 使用聚光燈的 AF 連續跟蹤方法(可離線手動測量) 

■ 投影狹縫 

 10μm半反射鏡型 

■ Z軸測量 

 Z軸數字線性規0.1μm讀數 

■ 重復性 

 ±1μm以內 

■ 使用的光源 

 半導體激光器(2級)、鹵素光源 

清晰顯示深度、高度和水平差的光學切割方法...自動捕捉代表橫截面形狀的細縫光、紅色激光點和水平差的變化,Z軸功能快速跟隨,并以數字方式記錄測量值。這是一種新型深度/高度測量裝置,結合了顯示功能(自動對焦系統)和電子線法參考線,擴大了測量范圍,增加了其實用價值。

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