熱門搜索：日本物性測試儀、石川擂潰機(jī)、水泥水分計(jì)、脫氣消泡罐、粉體硬度計(jì)、日本食感試驗(yàn)機(jī)
深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司 全國咨詢熱線：13823182047
PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
您的位置：首頁 / 產(chǎn)品展示 / 實(shí)驗(yàn)設(shè)備 / 涂布機(jī) / MS-B200 / MS-B300日本MIKASA晶圓表面涂抹設(shè)備半導(dǎo)體用涂布機(jī)
日本MIKASA晶圓表面涂抹設(shè)備半導(dǎo)體用涂布機(jī) MS-B200 / MS-B300產(chǎn)品采用AC伺服電機(jī)且無刷，因此在防止?jié)崈羰椅廴痉矫婢哂谐錾男阅?，并且減少電機(jī)的發(fā)熱以防止連續(xù)使用時(shí)的溫度升高。膜厚再現(xiàn)性也較低。
產(chǎn)品型號：MS-B200 / MS-B300廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2025-05-07訪 問 量：909
立即咨詢
聯(lián)系電話：13823182047
日本MIKASA晶圓表面涂抹設(shè)備半導(dǎo)體用涂布機(jī) MS-B200 / MS-B300 特點(diǎn)介紹
產(chǎn)品采用AC伺服電機(jī)且無刷，因此在防止?jié)崈羰椅廴痉矫婢哂谐錾男阅?，并且減少電機(jī)的發(fā)熱以防止連續(xù)使用時(shí)的溫度升高。膜厚再現(xiàn)性也較低。
日本MIKASA晶圓表面涂抹設(shè)備半導(dǎo)體用涂布機(jī) MS-B200 / MS-B300 規(guī)格參數(shù)
MS-B200
最大板尺寸 φ8英寸晶圓或150×150mm基板
轉(zhuǎn)速（轉(zhuǎn)/分） 20～5,000
旋轉(zhuǎn)精度 ±1rpm（負(fù)載時(shí)）
發(fā)動(dòng)機(jī) 交流伺服電機(jī)
蓋 聚碳酸酯
紡絲室直徑 φ360mm
步進(jìn)模式數(shù)量 100 步 x 10 種模式
時(shí)間設(shè)置 999.9秒
安全聯(lián)鎖裝置 真空標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
蓋子標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
滴水裝置 選項(xiàng)
使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa
電源 AC100~240V 5A
外形尺寸（毫米） 500寬×335高×583深
重量 28公斤
MS-B300
最大板尺寸 φ12英寸晶圓或200×200mm基板
轉(zhuǎn)速（轉(zhuǎn)/分） 20～5,000
旋轉(zhuǎn)精度 ±1rpm（負(fù)載時(shí)）
發(fā)動(dòng)機(jī) 交流伺服電機(jī)
蓋 聚碳酸酯
紡絲室直徑 φ500mm
步進(jìn)模式數(shù)量 100 步 x 10 種模式
時(shí)間設(shè)置 999.9秒
安全聯(lián)鎖裝置 真空標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
蓋子標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
滴水裝置 選項(xiàng)（最多可安裝 2 個(gè)臂）
使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa
電源 AC200~240V 單層5A
外形尺寸（毫米） 545寬×432高×654深
