日本vaclab霧化顆粒AG-NEG泵高抽速無粉塵 GNEG070-10 ICF70系列 特點介紹

由于NEG粉末是采用非接觸霧化方法制造的，因此它是真正的球形/高純度。

由于僅將粗顆粒粉末放入細(xì)絲網(wǎng)容器中并在不凝固的情況下進行操作，因此抽速高、穩(wěn)定且無粉塵。

■粉粒形狀為真球形

■無塵

■自氣體釋放量低（XHV用）

■CO抽速高

■ZrVFe三元合金粉末

■通過圓盤數(shù)量調(diào)節(jié)抽速（100至500 L/s） ■

通過延長盤間距離分配泵*2

■護套加熱器和熱電偶可自由裝卸（大氣側(cè)）

■自由安裝方向

■無振動、無帶電粒子、無電力（運行時）

日本vaclab霧化顆粒AG-NEG泵高抽速無粉塵 GNEG070-10 ICF70系列 規(guī)格參數(shù)

■霧化顆粒非蒸發(fā)吸氣劑（AG-NEG）泵是一種新型NEG粉末，采用新技術(shù)非接觸霧化方法制造，無需壓縮和固化粉末即可作為粉末（顆粒）使用。非蒸發(fā)吸氣劑 (NEG) 泵。NEG 粉末是球形，具有極其穩(wěn)定的表面，可實現(xiàn)高抽速和高度可靠的抽吸特性。粉末表面光滑穩(wěn)定，因此再抽真空時從表面層釋放的自體氣體極少，非常適合UHV/XHV發(fā)電。由于我們使用的顆粒狀NEG粉末比較大，粒徑為100~200μm，因此可以薄薄地密封在鋪有細(xì)絲網(wǎng)的圓盤形傳熱容器中，無需擔(dān)心NEG的影響。粉末飛散。另外，NEG粉末是通過中央加熱器管（常壓側(cè)）的傳導(dǎo)加熱來活化的，因此活化過程中散發(fā)的輻射熱也很少。