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產品分類
日本filgen濺射/碳鍍膜機系統多功能高精度 12155-AB/12155E-AB●節省空間/臺式濺射鍍膜機●快速鍍膜（金鍍層在 20 秒內電流可達 200A）——對樣品無熱損傷。●可濺射/蝕刻●可以通過移動樣品臺來調整到目標的距離。●惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進行樣品臺冷卻●提供各種靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可選）
產品型號：12155-AB/12155E-AB廠商性質：經銷商更新時間：2025-05-06訪 問 量：646
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日本filgen濺射/碳鍍膜機系統多功能高精度 12155-AB/12155E-AB 特點介紹
●節省空間/臺式濺射鍍膜機
●快速鍍膜（金鍍層在 20 秒內電流可達 200A）——對樣品無熱損傷。
●可濺射/蝕刻
●可以通過移動樣品臺來調整到目標的距離。
●惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進行樣品臺冷卻
● 提供各種靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可選）
● CE、RoHS（有害物質限制）：符合歐盟有害物質法規
● 多種組合可實現多種選擇（*見下文）
例） ① 有蝕刻模式 ② 有膜厚監視器 ③ 有蝕刻模式+膜厚監視器
日本filgen濺射/碳鍍膜機系統多功能高精度 12155-AB/12155E-AB 規格參數
模型 12155-AB 12155E-AB 12155Q-AB 12155EQ-AB
類型 基本的 帶膜厚監測儀 具有蝕刻模式和
膜厚監視器
電源 AC110V 50Hz(60Hz)
配件 Au靶材厚度76μm/陰極57mmφ
作品 真空控制基座單元
碳涂層機模塊（帶碳纖維頭）
濺射鍍膜機模塊
― 晶體諧振器膜厚監測器
*不能與碳鍍膜機一起使用。
● 節省空間/臺式濺射鍍膜機
● 快速鍍膜（金鍍層在 20 秒內電流可達 200A）——對樣品無熱損傷。
● 可濺射/蝕刻
● 可以通過移動樣品臺來調整到目標的距離。
● 惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進行樣品臺冷卻
● 提供各種靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可選）
● CE、RoHS（有害物質限制）：符合歐盟有害物質法規
● 多種組合可實現多種選擇（*見下文）
例） ① 有蝕刻模式 ② 有膜厚監視器 ③ 有蝕刻模式+膜厚監視器
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