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日本DIC超純水電阻率值防靜電裝置槽清洗用 eFLOW 2AC-P201eFLOW Series是通過使用DIC自主開發的中空纖維透氣膜補充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。可得到防止因靜電引起的 灰塵再次附著和基板圖形的防 靜電破壞的效果。
產品型號：eFLOW 2AC-P201廠商性質：經銷商更新時間：2025-05-06訪 問 量：725
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日本DIC超純水電阻率值防靜電裝置槽清洗用 eFLOW 2AC-P201 特點介紹
eFLOW Series是通過使用DIC自主開發的中空纖維透氣膜補充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。
可得到防止因靜電引起的 灰塵再次附著和基板圖形的防 靜電破壞的效果。
關于超純水防靜電裝置
• 由于結構簡單，故障少
• 采用的配管分配方式，易于控制電阻率值且穩定性優良
主要用途
• 掩模、網袋的清洗• 洗滌器清洗• 高壓噴射清洗• 切割工序的清洗• 槽清洗
日本DIC超純水電阻率值防靜電裝置槽清洗用 eFLOW 2AC-P201 規格參數
裝置原理
通過調整用二氧化碳溶解模組生成的二氧化碳飽和水和超純水的混合比率，可調節超純水的電阻率值。
CO2溶解原理
DIW在模組內的中空纖維膜內部流動。其間，從中空纖維膜外側CO2溶入DIW內。溶解的二氧化碳在DIW內發生離子化，可使DIW具有導電性，消除靜電。由于使用微細中空纖維膜束，可以有效獲得二氧化碳溶解所需要的表面積。
eFLOW Series是通過使用DIC自主開發的中空纖維透氣膜補充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。
可得到防止因靜電引起的 灰塵再次附著和基板圖形的防 靜電破壞的效果。
關于超純水防靜電裝置
• 由于結構簡單，故障少
• 采用的配管分配方式，易于控制電阻率值且穩定性優良
主要用途
• 掩模、網袋的清洗• 洗滌器清洗• 高壓噴射清洗• 切割工序的清洗• 槽清洗
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