Entegris壓力傳感器耐腐蝕化學品高精度測量 Entegris 4100/4150型 特點介紹

4100型

無論您是為了自動化、過程控制還是安全而測量壓力，您的測量都必須干凈、準確且可靠。

為了滿足半導體行業的需求，Entegris 將最新的電子傳感器技術與高度清潔的材料相結合，生產出能夠對工藝變化進行高度控制的先進產品。

在高純度應用中可靠測量腐蝕性化學品和 CMP 漿料中的壓力

所有裝置在發貨前均經過功能測試，精度為滿量程的 1%

無活動部件，減少顆粒產生

接液部件采用 PTFE、PFA、CTFE 和 Kalrez®，適用于高純度應用

行業標準 Flaretek® 連接減少了池化和占地面積。它還允許靈活的系統設計并且易于安裝。

4150型

可用于氫氟酸和負壓

使用耐化學腐蝕的藍寶石壓力傳感器準確可靠地測量惰性氣體真空

監控過程條件可提高安全性和系統性能

所有裝置在發貨前均經過功能測試，精度為滿量程的 1%

可連接電子顯示/監控系統

無移動部件，無填充液，消除了污染的可能性

非金屬傳感器技術可實現可靠的測量

接液部件為 PTFE、藍寶石和 Kalrez®，適用于高純度應用

緊湊的設計使安裝變得容易

行業標準 Flaretek® 連接減少了池化和占地面積。它還允許靈活的系統設計并且易于安裝。

Entegris壓力傳感器耐腐蝕化學品高精度測量 Entegris 4100/4150型 規格參數