日本toko-valex角型、酸堿用調節閥高性能 T-8220 特點介紹

接觸液體部分由樹脂構成，耐酸堿腐蝕性優異。另外，利用PTTE膜盒實現無軸封結構，提升密封性能。

從手機到電腦、汽車，半導體是現代工業產品的主角之一。

在半導體行業中，是以單晶硅制造成套設備及日光發電晶圓制造成套設備、蝕刻及清洗用氣體制造成套設備、超純水設備為核心，運用我公司產品。

尤其是蝕刻及清潔用氣體，由于包含毒性流體，所以大量采用了帶有膜盒的控制閥。

日本toko-valex角型、酸堿用調節閥高性能 T-8220 規格參數

型號T-8220 

型號角型 酸堿用調節閥 

連接規格JIS、ASME/ANSI 法蘭型 RF 相當 STAD式 

公稱直徑（A）15～100 

額定Cv值0.01～160 

主體材料PVC、PTFE（閥體外殼為SCS13A） 

閥蓋材料SCS13A 

閥塞材料PTFE/SUS316、TB340 

膜盒材料、耐壓PTFE：0.55MPa　G 

流量特性等百分比（范圍度 50:1） 

使用壓力范圍0.5MPa G 以下、大氣壓～1.2kPa abs（9torr） 

使用溫度范圍PVC：0～50℃　PTFE：0～100℃ 

可配備的驅動部分隔膜電機：T-5 系列

電子式：MSP/PSN 系列、電動式：CMS 系列 

選配件范圍度 100:1

閥體材料 PP（聚丙烯）、底座部分：0形環

膜盒耐性：PTFE　１MPa G

量特性：快速打開（開閉）

手動脫氣閥