日本mirapro復合真空計Tough發射器型LED屏 TG301CD 特點介紹

真空計可以通過放置在被測物體內部進行精確測量，但根據污染源的不同，測量精度可能會下降，從而導致測量結果出現誤差。影響正確的判斷和控制。

污染源是從測量對象物發出的物質以及從用于控制和測量的傳感器和配線發出的氣體，并且由于這種污染而附著在真空計上，導致精度下降。

在塑料表面進行氣相沉積時，由于增塑劑的蒸發等，會發生污染。真空設備內部的配線、電機、密封材料等產生有機污染氣體而造成的污染。在半導體制造設備中，有機金屬原料氣體和抗蝕劑殘留，成為污染源。

這些污染物會導致嚴重的問題。

由柵極污染引起的問題包括由于發射功率增加而導致的靈敏度降低、發射停止和燈絲斷裂。

日本mirapro復合真空計Tough發射器型LED屏 TG301CD 規格參數

復合真空計硬度計是組合BA電離真空計和皮拉尼真空計的復合型真空計。通過1根自動切換從大氣到超高真空的寬范圍的同時進行測量。皮拉尼真空計內置溫度計，進行溫度修正，減少因溫度變化引起的誤差。此外，皮拉尼真空計使用耐腐蝕性材料，在高真空下，BA電離真空計在加熱柵格及集電極的同時以硬模式工作，因此即使在污染環境下也不易發生靈敏度降低，可長時間高精度地進行測量。