日本RIX半導體行業用單口、多端口旋轉接頭 L40系列/MFES系列 特點介紹

該旋轉接頭是為半導體行業供應純水和化學溶液而開發的，主回路采用非金屬材料，最大限度地減少金屬離子溶出到液體中。

主通道采用非金屬材料，最大限度地減少金屬離子洗脫到流體中。

液體

純水、化學溶液等

該旋轉接頭也是針對半導體行業而開發的，在與液體接觸的部件上使用非金屬材料或涂層，從而可以創建一種最大限度地減少金屬離子溶出到液體中的結構。

特點

可使用非金屬材料或對接液部件進行涂層，以最大限度地減少金屬離子溶出到流體中。

流體

純水、空氣、真空、泥漿等

日本RIX半導體行業用單口、多端口旋轉接頭 L40系列/MFES系列 規格參數

壓力（兆帕） 轉速（分-1） 端口數量 

L40 1 600 1 

壓力（兆帕） 轉速（分-1） 端口數量 

MFES 1 200 2~ 

可使用非金屬材料或對接液部件進行涂層，以最大限度地減少金屬離子溶出到流體中。

流體

純水、空氣、真空、泥漿等

主通道采用非金屬材料，最大限度地減少金屬離子洗脫到流體中。

液體

純水、化學溶液等

該旋轉接頭也是針對半導體行業而開發的，在與液體接觸的部件上使用非金屬材料或涂層，從而可以創建一種最大限度地減少金屬離子溶出到液體中的結構。