日本日酸TANAKA低壓用壓力調節器減壓閥 TANAKA日酸 TORR-30 特點介紹

●TORR系列是憑借長期的業績獲得高度信賴的“半導體氣體用壓力調整器的代名詞"的壓力調整器。

●組裝全部在0.3μm級1000的潔凈室進行。

●在一次室的流路內置過濾器，減少了內部泄漏的發生。

●包括泄漏測試在內的全部出貨檢驗。

●還可制作電解研磨規格品。（接觸氣體金屬部表面粗糙度Ra0.25μm）

●TORR-30系列作為一次低壓用的標準機型，可廣泛應用于閥箱、通往室內的配管的卸下等減壓后的設備。

日本日酸TANAKA低壓用壓力調節器減壓閥 TANAKA日酸 TORR-30 規格參數

●使用材質接觸氣體部主體:隔膜:過濾器:壓力表:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調壓手柄:SUS316LSU S316SUS316LSUS316（螺紋連接）SUS316L（焊接連接）SUS318L、SUS316、氟樹脂C3771ABS樹脂、C3604

●性能入口側最高使用壓:出口側最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內置過濾器過濾過度:出入口口徑:外部泄漏量:5MPa1.0MPa300L/min（或P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2氣體）-5～40°C1.1kg20μm1/4"1.3×10-9Pa m3/sec以下（螺紋連接）1.3x 10-10Pa m3/sec以下（焊接連接）