日本日酸TANAKA高壓閥壓力調節器半導體用 TANAKA日酸 S-TORRⅤ1300 特點介紹

S-TORR調整器在半導體散熱氣體生產線中獲得極大信賴的TORR調整器

是貝一斯開發的超高純度氣體用壓力調節器。

由于排除了接觸氣體部螺紋結構，并按照標準實施電解研磨，所以可以獲得非常高的水分

可實現置換特性、顆粒減少。

主體與框架的連接采用焊接，隔膜部的外部密封件采用金屬密封件結構。

由于具有較高的外部密封性，即使是高純度的氣體，也可以放心使用。

在一次室的流路內置過濾器1，減少了內部回流的發生。

包括直線測試在內的全部出貨檢驗。

STV1300硅片作為一次高壓用的標準機型，焊接機柜等

廣泛用于一次減壓設備。

日本日酸TANAKA高壓閥壓力調節器半導體用 TANAKA日酸 S-TORRⅤ1300 規格參數

使用材質

接氣部

本體:SUS316L

膜片:SUS316L

過濾器:SUS316L

壓力計:SUS316L

繼手:SUS316L

其它接觸氣體部:SUS316L、SUS316、氟樹脂

非接觸氣體部

蓋:C3604

調壓手柄:ABS樹胎、C3604

S-TORR調整器在半導體散熱氣體生產線中獲得極大信賴的TORR調整器

是貝一斯開發的超高純度氣體用壓力調節器。