日本e-yamato高純氣體用壓力調節器調壓閥 SR-1HL/SR-2HL 特點介紹

高純度氣體（純度99.999~99.99999%）和腐蝕性氣體的供應。

SR-1HLVI具有特殊結構，即使從調節器出口抽真空，二次室也能獲得1X104torr以上的高真空。

即使進行抽真空，氣體也不會從入口側（一次側）流動。

可作為經濟產業大臣認證品生產。在高壓氣體設備中使用時，請選擇合格品。

也可制作流動方向體、左側入口（左高壓）型。

日本e-yamato高純氣體用壓力調節器調壓閥 SR-1HL/SR-2HL 規格參數

型式

SR-1HL

SR-1HLV（高真空支持）

SR-2HL

一次側壓力（MPa）

2~15

二次倒使用壓力（MPa）

0.1~0.99

使用溫度（度C）

-10~40（設計溫度:-10~7攝氏度）

1/4

外部響應量（Pam/sec）

螺紋連接:1.01x10以下焊接精:1.01x 10-以下

接氣主

本體

要部材質

SUS316

材算記號

隔膜

SUS316

科脫明

弁材

PCTFE

是P.476

其他

SUS316.SUS304.PTFE

過濾器粗糙度

600墨西哥

質

量

(kg)

1.2

1.3

標準流量8/min（nor.）

150(P)=15MPa.P:=0.99MPa)

300(P)=15MPa.Pe=0.6MPa)

最大流量2/min（nar.）

180(Pl=15MPa.Pz=0.99MPa)

360（P1=15MPa.P==0.6MPa)