日本YUTAKA半導體用壓力控制設備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO 特點介紹

L20系列是專為高壓半導體工藝制造氣體而設計的產品。基本結構是外部金屬密封和焊接接頭，使其成為具有優異的外部泄漏和顆粒性能的產品。

此外，我們還提供多種選擇來容納各種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。

日本YUTAKA半導體用壓力控制設備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO 規格參數

入口壓力 14.8MPa以下（最大19.6MPa） 

調節壓力 Max.0.99MPa

（范圍規格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa） 

氣源壓力波動 入口壓力：每0.1MPa，調節壓力變化量0.00021MPa 

承受壓力 22.2MPa（進口側） 

CV值 0.09 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

內部容積 4.67cm（不含3個壓力表及接頭） 

大量的 約1.29公斤 

主體SUS316L 

調節閥桿/閥座SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L 

隔膜哈氏合金®C-22 SUS316L 

閥座PCTFE（Daiflon®） 

緩沖彈簧不銹鋼316 哈氏合金® 不銹鋼316 

壓力表連接密封墊片你 不銹鋼316 

非氣體接觸部分 

閥蓋 (A)不銹鋼316 

發動機罩 (B)黃銅（鍍鎳） 

帽SUS304