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您的位置：首頁 / 產(chǎn)品展示 / 光學(xué)器件 / 測(cè)量儀 / STM-06日本JUSTEM晶圓檢測(cè)/測(cè)量設(shè)備手動(dòng)測(cè)厚機(jī)
日本JUSTEM晶圓檢測(cè)/測(cè)量設(shè)備手動(dòng)測(cè)厚機(jī) STM-06手動(dòng)手柄和秤允許在固定位置進(jìn)行測(cè)量。
產(chǎn)品型號(hào)：STM-06廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2025-05-02訪 問 量：368
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日本JUSTEM晶圓檢測(cè)/測(cè)量設(shè)備手動(dòng)測(cè)厚機(jī) STM-06 的特點(diǎn)介紹
手動(dòng)手柄和秤允許在固定位置進(jìn)行測(cè)量。
通過真空吸附將晶圓固定在平臺(tái)上。防止測(cè)量造成的劃傷。
測(cè)量數(shù)據(jù)以 EXCEL 文件形式保存在連接的計(jì)算機(jī)上。
測(cè)量結(jié)果顯示在PC上，方便查看。
還可根據(jù)要求提供地圖顯示等。
日本JUSTEM晶圓檢測(cè)/測(cè)量設(shè)備手動(dòng)測(cè)厚機(jī) STM-06 的特點(diǎn)介紹
| 目標(biāo)工作 | 硅（硅） |
|---|---|
| 工作尺寸 | φ4、5、6英寸 |
| 工作厚度 | 80 至 1,500μm |
| 設(shè)備類型 | 桌面型 |
| 安裝環(huán)境 | 1000級(jí) |
| 設(shè)備尺寸 | 寬426×深548×高323（毫米） |
| 設(shè)備重量 | 70公斤 |
| 電源電壓 | 單相100V 50/60Hz 共用 |
| 真空 | -50KPa |
| 測(cè)量傳感器 | 色差共焦傳感器 |
| 測(cè)量精度 | 重復(fù)10次 標(biāo)準(zhǔn)偏差0.1μm以下 |
| 測(cè)量點(diǎn) | 任意多點(diǎn)測(cè)量 |
