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UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S用于晶圓周邊曝光的 UV-LED 光源，與 g 線和 i 線抗蝕劑兼容。
產品型號：EW01S/EW04S廠商性質：經銷商更新時間：2025-05-02訪 問 量：320
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UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S
UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S
不僅可以安裝在新設備上，還可以方便地替換目前使用的UV燈光源。
配備UV-LED，可降低功耗，減少對環境的影響，延長光源的使用壽命，并且無需任何機械消耗部件，大大有助于降低客戶的運行成本。
光學設計實現了超過 7,000mw/cm2 的高輸出。它是處理厚膜抗蝕劑的理想選擇，以前需要大量的處理時間。此外，可以顯著縮短曝光處理時間，大大有助于增加處理的晶圓數量。
| 物品 | 內容 |
|---|---|
| 工作環境溫度 | 5～40℃（無凝結） |
| 電源電壓 | 單相100~240V |
| 工頻 | 50/60赫茲 |
| 發射峰值波長 | 365±5nm |
| 光輸出穩定性 | ±5%以內 |
| 初始紫外線強度 | 2000mw/c㎡以上（at365nm，距離掩模版0.5mm） |
| 強度分布均勻性 | 10% 或更少（4 x 5 mm 面積） |
| 紫外光源 | 紫外LED |
| UV光源壽命 | 20,000 小時（驅動電流下的預計壽命）* UV 強度為初始值的 50% 或以上時的累積點亮時間 |
| 照射ON/OFF功能 | UV-LED 開/關控制（通過遠程和手動控制開/關燈） |
| 光強調節功能 | UV-LED 電流調節 光強度調節范圍為 20 至 99% |
| 外觀材質 | 防銹的 |
| 外形尺寸 | 150（寬）×200（深）×192（高）毫米 |
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